测量装置及测量方法
实质审查的生效
摘要
本申请提供了一种测量装置及利用该测量装置的测量方法。测量装置包括：光源模块，用于产生预定光线；定位模块，用于将待测半导体结构定位至所述预定光线的路径上，所述预定光线从所述待测半导体结构的背面投射至所述待测半导体结构的预定层；检测模块，用于收集所述预定光线投射至所述预定层后产生的反应信号；以及分析模块，用于基于所述检测模块所收集的反应信号确定所述预定层中的待检信息。
基本信息
专利标题 ：
测量装置及测量方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114486973A
申请号 ：
CN202210094855.X
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2022-01-26
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
郑瑜环
申请人 ：
长江存储科技有限责任公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
代理机构 ：
北京英思普睿知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘莹
优先权 ：
CN202210094855.X
主分类号 ：
G01N23/2273
IPC分类号 ：
G01N23/2273 G01B15/02 H01L21/66
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N23/00
利用波或粒子辐射来测试或分析材料，例如未包括在G01N3/00-G01N17/00、G01N 21/00 或G01N 22/00中的X射线或中子
G01N23/22
通过测量材料的二次发射
G01N23/227
测量光电效应，例如，光电子发射显微镜
G01N23/2273
测量光电子光谱，例如用于化学分析的电子光谱或X射线光电子能谱
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 23/2273
申请日 : 20220126
申请日 : 20220126
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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