光压测量装置及光压测量方法

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摘要

本发明涉及一光压测量装置，其包括一扭秤、一激光器、一凸透镜以及一线阵列探测器，其中，所述扭秤包括一根悬空的碳纳米管和一悬挂固定于所述碳纳米管上的反射镜，所述反射镜包括一薄膜和两反射层，所述薄膜包括两层或两层以上层叠设置的二维材料，所述薄膜具有相对的第一表面和第二表面，所述两反射层分别形成于所述薄膜的第一表面和第二表面；所述激光器用于发射激光；所述凸透镜位于所述激光的光路上，用于将所述激光汇聚至所述反射镜的表面，所述激光被所述反射镜反射，形成一反射光；所述线阵列探测器位于所述反射镜的反射光路上，用于接收所述反射镜的反射光。本发明还涉及一光压测量方法。

基本信息

专利标题：

光压测量装置及光压测量方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN113138043A

申请号：

CN202010048183.X

公开（公告）日：

2021-07-20

申请日：

2020-01-16

授权号：

CN113138043B

授权日：

2022-04-22

发明人：

丛琳袁子姜开利范守善

申请人：

清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司

申请人地址：

北京市海淀区清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202010048183.X

主分类号：

G01L1/24

IPC分类号：

G01L1/24