一种陶瓷涂层石墨托盘旋转组件
实质审查的生效
摘要

本发明提供了一种陶瓷涂层石墨托盘旋转组件,包括承载盘和盖板,所述承载盘上设有第一定位结构,所述盖板底部设有第二定位结构,所述第一定位结构与第二定位结构相互配合。所述第一定位结构为第一凹槽或第一凸台,所述第二定位结构为第二凸台或第二凹槽,所述第一凹槽与第二凸台相互配合,所述第一凸台与第二凹槽相互配合。在承载盘与盖板间使用外圆裙边作中心的定位,使用凹凸槽作承载盘与盖板间的旋转角度方向的定位,代替现有的通过两盘间的重力和摩擦力来限位的方法,克服了在旋转时因惯性和气流导致承载盘和盖板间发生相对移位,使产品的生长条件发生改变的缺点,从而有效提高产品的生长质量和良率。

基本信息
专利标题 :
一种陶瓷涂层石墨托盘旋转组件
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114457417A
申请号 :
CN202210271334.7
公开(公告)日 :
2022-05-10
申请日 :
2022-03-18
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
邹明蓓朱佰喜薛抗美雷宏涛董志江
申请人 :
广州志橙半导体有限公司
申请人地址 :
广东省广州市黄埔区(中新广州知识城)亿创街1号406房之337
代理机构 :
北京中和立达知识产权代理有限公司
代理人 :
张攀
优先权 :
CN202210271334.7
主分类号 :
C30B25/12
IPC分类号 :
C30B25/12  C23C16/32  C23C16/458  C30B29/36  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B25/00
反应气体化学反应法的单晶生长,例如化学气相沉积生长
C30B25/02
外延层生长
C30B25/12
衬底夹持器或基座
法律状态
2022-05-27 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C30B 25/12
申请日 : 20220318
2022-05-10 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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