在制造过程中引导过程模型和检查的方法
公开
摘要
一种用于诸如减少校准时间、改进模型的精确度以及改进整个制造过程的各种目的的方法，其中通过两个不同的过程模型模拟图像的特性的偏差或通过过程模型模拟且通过量测工具测量所述特性的偏差。
基本信息
专利标题 ：
在制造过程中引导过程模型和检查的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114578661A
申请号 ：
CN202210274608.8
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2017-12-13
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
曹宇邹毅林晨希
申请人 ：
ASML荷兰有限公司
申请人地址 ：
荷兰维德霍温
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
胡良均
优先权 ：
CN202210274608.8
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20 G05B19/418 G06T7/00 H01L21/66
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
