描述一种用于监测制造过程的性能的方法。所述方法包括：接收传递与由所述制造过程所产生的衬底的几何形状有关的信息的一个或更多个输入信号；和利用预测模型、基于所述一个或更多个输入信号，确定所述制造过程中的变化。也描述一种用于预测与制造过程相关联的衬底几何形状的方法。所述方法包括：接收输入信息，所述输入信息包括衬底的几何形状信息和制造过程信息；和使用机器学习预测模型、基于所述输入信息，预测输出衬底几何形状。所述方法还包括调节所预测的输出衬底几何形状。所述调节包括：将所述输出衬底几何形状与相对应的实体衬底测量结果和/或来自不同的非机器学习预测模型的预测结果进行比较；基于所述比较来产生损失函数；以及优化所述损失函数。