本发明涉及低温蒸汽设备技术领域，具体涉及低温蒸汽发生器及其使用方法，其技术方案是：包括罐体与PLC控制面板，所述PLC控制面板设置在罐体左侧，所述罐体底部焊接有支架，还包括液位调节组件、温度调节组件、抽真空组件、汽水分离组件、出汽泄压组件与排污组件，所述液位调节组件、温度调节组件、抽真空组件、汽水分离组件、出汽泄压组件与排污组件均设在罐体上，本发明的有益效果是：在负压情况下，对水进行低温加热作业，由于水的沸点在负压的情况下降低，所以被加热的水在低温下即可蒸发产生低温蒸汽，且本发明能够对水位、压力以及温度进行自动调节，从而达到持续作业的效果。