显示基板的制备方法
公开
摘要
本发明提供一种显示基板的制备方法，包括以下步骤：准备制备有低温多晶硅驱动晶体管和低温多晶硅开关晶体管的基板；对低温多晶硅驱动晶体管进行过孔，在低温多晶硅驱动晶体管中形成分别与低温多晶硅驱动晶体管中的多晶硅的用于形成源极和漏极的两端连通的第一接触孔；对第一接触孔进行退火；在对第一接触孔进行退火之后，对低温多晶硅开关晶体管进行过孔，在低温多晶硅开关晶体管中形成分别与低温多晶硅开关晶体管中的多晶硅的用于形成源极和漏极的两端连通的第二接触孔。本发明提供的显示基板的制备方法能够改善多晶硅开关晶体管的特性，提升多晶硅开关晶体管的开关性能，提升多晶硅薄膜晶体管的性能，提升显示基板的性能。
基本信息
专利标题 ：
显示基板的制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114628412A
申请号 ：
CN202210279548.9
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2022-03-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
杨维刘威胡合合邸云萍
申请人 ：
京东方科技集团股份有限公司
申请人地址 ：
北京市朝阳区酒仙桥路10号
代理机构 ：
北京天昊联合知识产权代理有限公司
代理人 ：
王婷
优先权 ：
CN202210279548.9
主分类号 ：
H01L27/12
IPC分类号 ：
H01L27/12 H01L21/77 H01L27/32
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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