一种嵌有标准具的无研合双端面量块量值测量系统
公开
摘要
本发明公开了一种嵌有标准具的无研合双端面的量块量值测量系统，它由一套双测量臂的白光干涉仪构成。其测量步骤为：在干涉仪的分光光路前增加一套平行光系统并设置标准具；调整两测量光路至共轴共路，分别垂直入射至量块的两个测量面；调整两个相干光路，出现单色干涉条纹后增加白光照明，微调调整参考反射镜，得到参考面的零次干涉带与被测面的零次干涉带，据此求出量块与标准具尺寸差，加上环境条件的修正，得到被测量块的准确尺寸。整个系统封装在同一环境中以保证系统空气折射率一致，并使各项环境参数满足JJG 146‑2003量块检定规程的要求。本发明提高了量块测量精度与效率，不磨损量块，易于实现测量的自动化与半自动化，可用于精密测量。
基本信息
专利标题 ：
一种嵌有标准具的无研合双端面量块量值测量系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114608452A
申请号 ：
CN202210281839.1
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2022-03-22
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
张宝武欧阳烨锋张成悌薛靓汤江文付天坤
申请人 ：
中国计量大学
申请人地址 ：
浙江省杭州市学源街258号中国计量大学
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202210281839.1
主分类号 ：
G01B11/02
IPC分类号 ：
G01B11/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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