热弹性阻尼最大的弹性微梁谐振器
公开
摘要
本发明涉及一种热弹性阻尼最大的弹性微梁谐振器，包括振子、驱动电极和基底，所述振子为弹性悬臂微梁或两端固支微梁，其特征在于，所述振子的横截面为矩形或圆形；振子的横截面为矩形时，横截面的厚度振子的横截面为圆形时，横截面的半径
其中k、Cv分别为导热系数和单位体积热容，ω为工作频率。本发明构建了工作频率、振子长度、厚度(或横截面半径)与热弹性阻尼的关系，通过振子横截面的尺寸和长度的量化设计，实现了弹性微梁谐振器的热弹性阻尼最大化。
基本信息
专利标题 ：
热弹性阻尼最大的弹性微梁谐振器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114598295A
申请号 ：
CN202210294072.6
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2022-03-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李普张宁卢熹孙蓓蓓张建润
申请人 ：
东南大学
申请人地址 ：
江苏省南京市江宁区东南大学路2号
代理机构 ：
北京德崇智捷知识产权代理有限公司
代理人 ：
郝雅洁
优先权 ：
CN202210294072.6
主分类号 ：
H03H9/02
IPC分类号 ：
H03H9/02 H03H9/09
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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