具有两端自由边界条件的弹性微梁谐振器
公开
摘要
本发明涉及一种具有两端自由边界条件的弹性微梁谐振器，包括衬底、第一固定支撑、第二固定支撑、支撑梁、自由‑自由梁和固定电极；支撑梁的数量以及支撑梁在自由‑自由梁上的支撑点的位置按以下规则确定：当自由‑自由梁被要求工作在自身第N阶固有频率时，N+1个结构相同的支撑梁垂直支撑在自由‑自由梁的同一侧，形成N+1个垂直支撑点，N+1个垂直支撑点为自由‑自由梁的第N阶振型函数的N+1个节点；支撑梁与自由‑自由梁的截面均为矩形且矩形的边长分别对应相等。本发明实现了梁两端自由支撑边界条件，有助在工程应用中有效地发挥其性能优势。
基本信息
专利标题 ：
具有两端自由边界条件的弹性微梁谐振器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114614788A
申请号 ：
CN202210244314.0
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2022-03-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李普卢熹孙蓓蓓张建润张宁
申请人 ：
东南大学
申请人地址 ：
江苏省南京市江宁区东南大学路2号
代理机构 ：
北京德崇智捷知识产权代理有限公司
代理人 ：
郝雅洁
优先权 ：
CN202210244314.0
主分类号 ：
H03H9/02
IPC分类号 ：
H03H9/02
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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