本发明提供一种微谐振器，该微谐振器包括设置在基底多个列上的多个谐振器元件。每一个谐振器元件都具有输入电极、输出电极、和在特定方向延伸的膜片，并且每个都通过特定频率的信号。多个谐振器元件包括设置在位于在多个列中每隔一列的第一列上的多个第一谐振器元件，其具有第一相位，及设置在位于多个列中每隔一列但不是第一列的第二列的多个第二谐振器元件，其具有与第一相位相反相位的第二相位。