体声波谐振器及其制造方法、滤波器及电子设备
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极；压电层；和顶电极，其中：底电极和/或顶电极的表面粗糙度Rq<0.5nm；和/或在平行于谐振器的厚度方向的一个截面中，底电极和/或顶电极的与压电层接触的表面上的最高点与最低点之间在所述厚度方向上的距离小于5nm。本发明还涉及一种体声波谐振器的制作方法，所述谐振器包括基底，声学镜，底电极，压电层和顶电极，所述方法包括步骤：以沉积功率范围大于1KW的条件制备顶电极和/或底电极的全部或部分电极膜层。本发明也涉及一种滤波器和一种电子设备。
基本信息
专利标题 ：
体声波谐振器及其制造方法、滤波器及电子设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114389555A
申请号 ：
CN202011133757.X
公开（公告）日 ：
2022-04-22
申请日 ：
2020-10-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
庞慰李葱葱徐洋梁兴宇张孟伦
申请人 ：
诺思（天津）微系统有限责任公司
申请人地址 ：
天津市滨海新区开发区西区新业五街27号
代理机构 ：
北京金诚同达律师事务所
代理人 ：
汤雄军
优先权 ：
CN202011133757.X
主分类号 ：
H03H3/007
IPC分类号 ：
H03H3/007 H03H3/02 H03H9/17 H03H9/46 H03H9/48 H03H9/56
法律状态
2022-05-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 3/007
申请日 : 20201021
申请日 : 20201021
2022-04-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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