体声波谐振器及其制造方法和滤波器、射频通信系统
授权
摘要
本发明提供一种体声波谐振器及其制造方法和滤波器、射频通信系统，形成于压电谐振层外围的且悬空于空腔上方的底电极凸起部和顶电极凸起部，能够阻挡压电谐振层产生的横波向空腔外围传输，将横波反射回有效工作区中，继而减少和降低了声波损耗，使谐振器的品质因子得到提高，最终能够提高器件性能。进一步地，底电极搭接部和顶电极搭接部与空腔的重叠部分均是悬空的，且底电极搭接部和顶电极搭接部相互错开，可以大大降低寄生参数，并避免漏电、短路等问题，能够提高器件可靠性。
基本信息
专利标题 ：
体声波谐振器及其制造方法和滤波器、射频通信系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111786652A
申请号 ：
CN201910273067.5
公开（公告）日 ：
2020-10-16
申请日 ：
2019-04-04
授权号 ：
CN111786652B
授权日 ：
2022-05-10
发明人 ：
罗海龙
申请人 ：
中芯集成电路（宁波）有限公司上海分公司
申请人地址 ：
中国（上海）自由贸易试验区蔡伦路85弄95号1幢3楼C区309
代理机构 ：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
曹廷廷
优先权 ：
CN201910273067.5
主分类号 ：
H03H9/15
IPC分类号 ：
H03H9/15 H03H9/17 H03H9/46 H03H9/54
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法律状态
2022-05-10 ：
授权
2020-11-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 9/15
申请日 : 20190404
申请日 : 20190404
2020-10-16 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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