本发明公开了一种高Q值微环谐振器，输入波导和输出波导为单模波导，微环波导及其相邻的耦合波导均为多模波导。由于多模波导的宽度较大，能将大部分基模光场限制在波导内部，减少光场与侧壁的相互作用，降低侧壁粗糙导致的散射损耗，从而提高微环谐振器的本征Q值。第一欧拉波导和第二欧拉波导的曲率渐变，其缓变曲率半径将减小弯曲损耗，同时降低光场能量由基模向高阶模转换效率。耦合波导与微环波导满足模式匹配，抑制微环谐振器内高阶谐振模式被激发。利用多模欧拉波导曲率渐变的特性，通过弯曲欧拉波导实现微环波导与耦合波导之间耦合间隙渐变，降低耦合区域内光场模式失配导致的光损耗，从而进一步提高微环谐振器的本征Q值。