一种用于多晶铸锭炉的温度输出功率控制系统及控制方法
公开
摘要

本发明属于多晶硅铸锭设备技术领域,具体为一种用于多晶铸锭炉的温度输出功率控制系统及控制方法,一种用于多晶铸锭炉的温度输出功率控制系统,包括温度测量模块、高度统计模块、加热模块、功率调节模块、数据统计模块、温度对比模块和时间记录模块;所述温度测量模块包括炉内温度测量模块和炉表温度测量模块,所述炉内温度测量模块用于测量所述加热模块的温度,所述炉表温度测量模块用于测量多晶铸锭炉外表的温度;所述高度统计模块,用于带动所述炉表温度测量模块进行上下移动,本发明利用固液界面的增长速度来对加热模块需求的输出功率进行控制,进而避免对硅液的温度进行采集,从而提高温度输出功率的精准性。

基本信息
专利标题 :
一种用于多晶铸锭炉的温度输出功率控制系统及控制方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114574963A
申请号 :
CN202210310364.4
公开(公告)日 :
2022-06-03
申请日 :
2022-03-28
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
杨定勇朱庆龙邹文龙张力峰
申请人 :
扬州晶樱光电科技有限公司
申请人地址 :
江苏省扬州市高邮市经济开发区凌波路86号
代理机构 :
苏州国卓知识产权代理有限公司
代理人 :
马德龙
优先权 :
CN202210310364.4
主分类号 :
C30B28/06
IPC分类号 :
C30B28/06  C30B29/06  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B28/00
制备具有一定结构的均匀多晶材料
C30B28/04
由液态制备
C30B28/06
正常凝固法或温度梯度凝固法
法律状态
2022-06-03 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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