一种醇醚碳化硅抛光液及其制备方法和应用
公开
摘要
本发明公开了一种醇醚碳化硅抛光液，其由以下质量浓度的原料组成：0.1～40％研磨剂颗粒、50～97％醇醚、2～30％非水稀释剂、0.5～20％氧化剂和0.2～5％pH调节剂，且所述碳化硅抛光液pH值为2～12。本发明的碳化硅抛光液，不仅具有切削率高，表面质量稳定，循环使用寿命长的优点，而且无挥发性和重金属污染问题，易于长期储存，尤其适用于难加工的含硅表面的超精密光学器件或半导体功率器件的表面抛光。本发明还公开了一种醇醚碳化硅抛光液的制备方法和应用。
基本信息
专利标题 ：
一种醇醚碳化硅抛光液及其制备方法和应用
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114574106A
申请号 ：
CN202210372821.2
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2022-04-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
陈瑞儿
申请人 ：
宁波日晟新材料有限公司
申请人地址 ：
浙江省宁波市余姚市丈亭镇龙丰村
代理机构 ：
宁波知坤专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
杨灿
优先权 ：
CN202210372821.2
主分类号 ：
C09G1/02
IPC分类号 ：
C09G1/02 H01L21/306
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C09
染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
C09G
抛光组合物；滑雪屐蜡
C09G1/00
抛光组合物
C09G1/02
含有磨料或研磨剂
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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