基片转移装置
公开
摘要
本发明涉及半导体加工技术领域，尤其是涉及一种基片转移装置。所述基片转移装置包括：抓取件，形成有用于抓取基片的抓取部；驱动组件，包括升降组件和与所述升降组件连接的旋转组件，所述升降组件用于驱动所述旋转组件作升降运动；摆臂，所述摆臂的一端与所述旋转组件的驱动端连接；所述摆臂的另一端与所述抓取件连接；所述摆臂的长度方向与所述升降组件的驱动方向呈角度设置。本发明能够沿特定的运动轨迹将基片转移至指定位置且保证基片洁净度，满足基片传送于各个工位之间的运输要求。
基本信息
专利标题 ：
基片转移装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114620447A
申请号 ：
CN202210447818.2
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2022-04-26
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
边晓东安稳鹏刘凯文李国森王维桐
申请人 ：
北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请人地址 ：
北京市北京经济技术开发区泰河三街1号
代理机构 ：
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
邵琛
优先权 ：
CN202210447818.2
主分类号 ：
B65G43/08
IPC分类号 ：
B65G43/08 B65G47/91 H01L21/677
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G43/00
控制装置，如用于安全、警报、故障排除装置
B65G43/08
由供给、输送或卸出的物件或物料操纵的控制装置
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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