晶圆制造的配方数据收集方法和装置
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种晶圆制造的配方数据收集方法和装置，至少包括以下步骤：获取每种机台组的所有配方ID；通过每个配方ID索引对应的子配方ID得到特气消耗数据；根据特气消耗数据得到每个配方ID中所有特气的配方数据。本发明能够准确得到晶圆制造过程中各机台组的配方数据。
基本信息
专利标题 ：
晶圆制造的配方数据收集方法和装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114548885A
申请号 ：
CN202210448370.6
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2022-04-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
黄艺郑文杰
申请人 ：
广州粤芯半导体技术有限公司
申请人地址 ：
广东省广州市黄埔区凤凰五路28号
代理机构 ：
上海光华专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
赵琴
优先权 ：
CN202210448370.6
主分类号 ：
G06Q10/08
IPC分类号 ：
G06Q10/08 G06Q50/04 H01L21/67
IPC结构图谱
G
G部——物理
G06
计算；推算或计数
G06Q
专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的数据处理系统或方法；其他类目不包含的专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的处理系统或方法
G06Q10/00
行政；管理
G06Q10/08
物流，例如仓储、装货、配送或运输；存货或库存管理，例如订货、采购或平衡订单
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G06Q 10/08
申请日 : 20220427
申请日 : 20220427
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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