本发明公开了一种基于FPGA光直写方法及成像传输系统设备，涉及激光直写技术领域。本发明包括通过计算机直写软件设计出基片掩模上需要的图形；通过计算机产生设计的微光学元件或待制作的VLSI掩摸结构数据；将数据转换成直写系统控制数据，由计算机控制激光源发射激光束在光刻胶上直接扫描曝光；通过激光束在光刻胶上直接曝光写出所设计的任意图形，从而把设计图形直接转移到基片掩模上。本发明通过设置的两个夹板，能带动两个夹板相对移动对放置台上的放置的基片进行夹持固定，激光发射器和摄像设备位于操作箱的下面，从而减少了激光发射器和摄像设备自身的重量对操作箱造成较大的压力的情况。