一种长度伸缩谐振型磁传感器
公开
摘要

本发明公开一种长度伸缩谐振型磁传感器,属于磁传感器技术领域,包括第一引出电极,第二引出电极,以及自下而上依次设置的基座、下磁敏薄膜、下电极层、压电薄膜层、上电极层和上磁敏薄膜;压电薄膜层包括中间镂空的绝缘结构,位于绝缘结构镂空区域的长度伸缩型压电薄膜结构,以及两个用于固定的支撑梁;基座上表面设有空腔,下磁敏薄膜和下电极层位于空腔内部对应压电薄膜结构位置;上电极层与第一引出电极相连,下电极层贯穿绝缘结构与第二引出电极相连。本发明中下磁敏薄膜和上磁敏薄膜均可与待测磁场充分接触,同时利用压电薄膜结构的长度伸缩特性,保证ΔE效应的充分转换,提高磁传感器的相对灵敏度。

基本信息
专利标题 :
一种长度伸缩谐振型磁传感器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114609554A
申请号 :
CN202210506574.0
公开(公告)日 :
2022-06-10
申请日 :
2022-05-11
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
陈聪白利兵张杰周权田露露程玉华黄伟
申请人 :
电子科技大学
申请人地址 :
四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
代理机构 :
电子科技大学专利中心
代理人 :
邓黎
优先权 :
CN202210506574.0
主分类号 :
G01R33/02
IPC分类号 :
G01R33/02  G01R33/00  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R33/00
测量磁变量的装置或仪器
G01R33/02
测量磁场或磁通量的方向或大小
法律状态
2022-06-10 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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