一种晶体炉用控制温度梯度的气体冷却装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种晶体炉用控制温度梯度的气体冷却装置,包括快速冷却组件、循环冷却组件、存储保温组件和密封盖,高温气体通过进气槽进入至组件外壳内,并通过输气管和鼓气头向组件外壳的内部冷却液中进行鼓气,使高温气体能够冷却至与冷却液相近的温度,再由抽气泵抽取气体,并通过外管接口输入至水平直管中,而循环冷却组件中的螺旋冷却管内通入循环冷却水,使水平直管内的气体温度进一步下降,最后再进入存储保温组件内的螺旋保温管中保存,而螺旋保温管外侧的存储外壳内填充冷却液,使管内气体能够最终冷却至目标温度后储存备用,且快速冷却组件、循环冷却组件和存储保温组件可单独或组合使用,实现了气体的控制温度梯度冷却。
基本信息
专利标题 :
一种晶体炉用控制温度梯度的气体冷却装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202220086633.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2022-01-13
授权号 :
CN216620684U
授权日 :
2022-05-27
发明人 :
靳启忠闫丽敏刘海雷
申请人 :
保定晶通机电科技有限公司
申请人地址 :
河北省保定市北三环6001号8号楼402室
代理机构 :
北京华际知识产权代理有限公司
代理人 :
施欢权
优先权 :
CN202220086633.9
主分类号 :
F27D9/00
IPC分类号 :
F27D9/00 C30B15/00
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F27
炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉
F27D
一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件
F27D
一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件
F27D9/00
炉的冷却或炉内炉料的冷却
法律状态
2022-05-27 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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