一种基于空芯光纤的探针式F-P干涉仪氢气浓度传感器
授权
摘要
本实用新型公开了一种基于空芯光纤的探针式F‑P干涉仪氢气浓度传感器，由可调谐激光器、环形器、传感头、氢气发生器、光电转换器以及示波器组成。单模光纤与锥化处理后单模光纤端面在空芯光纤中形成法布里‑珀罗干涉仪。锥化处理后单模光纤的锥腰部分镀有钯银合金薄膜，钯银合金薄膜遇到氢气后体积膨胀，导致形成悬臂梁结构的光纤锥的本征频率改变。应用时，通过监测本传感器的本征频率的变化量即可解调出氢气浓度的改变。本实用新型的响应速度优于基于WO3的氢气浓度传感器；且本传感器的传感头部分镀有钯银合金薄膜，避免了钯的氢脆现象，可用于氢气浓度的高精度测量。
基本信息
专利标题 ：
一种基于空芯光纤的探针式F-P干涉仪氢气浓度传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202220088233.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2022-01-14
授权号 ：
CN216718204U
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
张莹方李建庆
申请人 ：
珠海澳科大科技研究院
申请人地址 ：
广东省珠海市横琴新区环岛东路1889号青年创业谷20栋A座、6栋
代理机构 ：
北京方圆嘉禾知识产权代理有限公司
代理人 ：
王月松
优先权 ：
CN202220088233.1
主分类号 ：
G01N21/45
IPC分类号 ：
G01N21/45
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/17
入射光根据所测试的材料性质而改变的系统
G01N21/41
折射率；影响相位的性质，例如光程长度
G01N21/45
利用干涉量度法，利用纹影方法
法律状态
2022-06-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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