一种可维护的四氯化硅汽化器
授权
摘要

本实用新型公开了一种可维护的四氯化硅汽化器,涉及四氯化硅汽化器领域,包括:主体;底座,固定连接在主体的底端;封头,连接在主体的一端;管束组件,固定连接在主体的另一端且延伸至主体的内部;限位机构;定位机构。本实用新型通过设置定位机构,当第一连接杆向上移动时,齿轮将沿着转动杆转动,齿轮的另一端的第二连接杆、挤压块将向下移动,直到第一连接杆进入封头外壁凹槽,那么挤压块也将带动第二定位杆向上移动且与封头的外壁凹槽相接触,此时挤压块外壁斜面将与封头的凹槽相接触,封头将在第二弹簧的弹力与挤压块的斜面作用下,给予封头向主体内部的挤压力,使封头带动密封环与主体连接的更加紧密,提高了主体与封头的密封性。

基本信息
专利标题 :
一种可维护的四氯化硅汽化器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202220149742.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2022-01-20
授权号 :
CN216638931U
授权日 :
2022-05-31
发明人 :
杨晓勇杨寿钦李菲菲王彦萍乔金花
申请人 :
东营大地硅业有限公司
申请人地址 :
山东省东营市东营开发区滨海新材料园渤海路北、高原化工西
代理机构 :
北京汇信合知识产权代理有限公司
代理人 :
徐荣荣
优先权 :
CN202220149742.0
主分类号 :
C01B33/107
IPC分类号 :
C01B33/107  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素;其化合物
C01B33/00
硅; 其化合物
C01B33/08
含卤素的化合物
C01B33/107
卤化硅烷
法律状态
2022-05-31 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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