一种耐腐蚀石英舟
授权
摘要
本实用新型公开了一种耐腐蚀石英舟，所述耐腐蚀石英舟为承载硅片的舟体，所述舟体的所有表面上均覆盖一层均匀的溶胶保护膜。本实用新型在石英舟的表面形成一层均匀的溶胶保护膜，能有效地隔绝在高温环境下磷酸和硼酸对石英基体的腐蚀，同时降低了材料的脆性断裂风险，使石英舟更为稳定可靠，这样能极大的提高石英舟的使用寿命，降低成本。同时减少了硅片与石英基体的接触、摩擦可能造成的污染。
基本信息
专利标题 ：
一种耐腐蚀石英舟
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202220183927.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2022-01-21
授权号 ：
CN216749836U
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
陈庆敏李丙科张海洋
申请人 ：
无锡松煜科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区环普路9号11号厂房
代理机构 ：
江苏漫修律师事务所
代理人 ：
熊启奎
优先权 ：
CN202220183927.3
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673 C23C16/458
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2022-06-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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