半自动晶圆涂胶清洗机
授权
摘要
1.本外观设计产品的名称：半自动晶圆涂胶清洗机。2.本外观设计产品的用途：用于对晶圆表面微小颗粒进行清除，特别是对切割前后晶圆表面的灰尘、有机溶剂、切割碎屑的清除。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
基本信息
专利标题 ：
半自动晶圆涂胶清洗机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202230081641.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2022-02-21
授权号 ：
CN307370290S
授权日 ：
2022-05-27
发明人 ：
刘佳鑫童灿钊赵冬冬李迁巫礼杰高云峰
申请人 ：
大族激光科技产业集团股份有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区深南大道9988号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202230081641.X
主分类号 ：
15-05
IPC分类号 ：
15-05
法律状态
2022-05-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
