高流量多级盘形分子泵
专利权的终止
摘要

本发明属于高转速机械真空泵,例如分子泵。它提出了一种多级盘形分子泵的新的串联工作模式。其螺线槽采用对数形式:Ro为圆盘内半径,θ为极角,α为螺线槽切向与圆盘径向夹角,螺线槽可开在定圆盘或动圆盘两侧面,或交替开在定圆盘与动圆盘一侧面,使相邻两动圆盘构成二级盘形泵。多级盘形分子泵的入口侧还可串联安装若干级涡轮分子泵叶轮,组成新的复合分子泵,本发明简化了分子泵的结构,提高了分子泵的流量和运行可靠性。

基本信息
专利标题 :
高流量多级盘形分子泵
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN85105304A
申请号 :
CN85105304.1
公开(公告)日 :
1986-09-03
申请日 :
1985-07-06
授权号 :
CN85105304B
授权日 :
1988-09-14
发明人 :
储继国孙云龙徐礼霸
申请人 :
复旦大学
申请人地址 :
上海市邯郸路220号
代理机构 :
复旦大学专利事务所
代理人 :
陆飞
优先权 :
CN85105304.1
主分类号 :
F04D19/04
IPC分类号 :
F04D19/04  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F04
液体变容式机械;液体泵或弹性流体泵
F04D
非变容式泵
F04D
非变容式泵
F04D19/00
专门适用于弹性流体的轴流泵
F04D19/02
多级泵
F04D19/04
专门适用于产生高真空,例如分子泵
法律状态
1990-12-19 :
专利权的终止
1989-07-12 :
授权
1988-09-14 :
审定
1986-09-03 :
公开
1986-08-13 :
实质审查请求
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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