分子泵
公开
摘要
本发明涉及真空泵技术领域，具体公开了一种分子泵，包括：机体，内部具有腔体，所述机体的侧壁开设有与所述腔体连通的入口，所述机体的底部端面开设有所述腔体连通的出口；注入管路，与所述入口连通，以将外部的自清洁剂导入所述腔体内；排出管路，与所述出口连通，以将所述腔体内的残余液体排出。本申请通过在机体上设置注入管路以及排出管路，可以将自清洁剂自注入管路注入机体内，并将机体内的残余液体从排出管路排出机体，起到了清洁机体腔体的作用，延长了分子泵的寿命，减少故障率。
基本信息
专利标题 ：
分子泵
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114623089A
申请号 ：
CN202210212040.7
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2022-03-04
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
刘小俊陈涛李春龙卓鸿俊
申请人 ：
北京子牛亦东科技有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区经济技术开发区科谷二街10号院B区5号楼7层(北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团)
代理机构 ：
北京辰权知识产权代理有限公司
代理人 ：
王志红
优先权 ：
CN202210212040.7
主分类号 ：
F04D19/04
IPC分类号 ：
F04D19/04 F04D29/70
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F04
液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵
F04D
非变容式泵
F04D
非变容式泵
F04D19/00
专门适用于弹性流体的轴流泵
F04D19/02
多级泵
F04D19/04
专门适用于产生高真空，例如分子泵
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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