在非导体上制造金属结构
专利权的终止专利权有效期届满
摘要
本发明涉及一种在非导体上制造导电结构的方法,其特征在于,金属覆盖层是通过金属有机化合物在辉光放电区分解而沉积的。
基本信息
专利标题 :
在非导体上制造金属结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN86101886A
申请号 :
CN86101886.9
公开(公告)日 :
1986-11-19
申请日 :
1986-03-22
授权号 :
CN1005240B
授权日 :
1989-09-20
发明人 :
哈拉尔德·苏尔克里斯蒂安·奥尔俄恩斯特·弗尤尔
申请人 :
舍林股份公司
申请人地址 :
联邦德国1000柏林65
代理机构 :
中国国际贸易促进委员会专利代理部
代理人 :
王以平
优先权 :
CN86101886.9
主分类号 :
H05K3/18
IPC分类号 :
H05K3/18 C23C16/18 C23C18/16
法律状态
2001-11-14 :
专利权的终止专利权有效期届满
1990-05-30 :
授权
1989-09-20 :
审定
1988-07-06 :
实质审查请求
1986-11-19 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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