从气体中提取气化物的装置及其方法
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
用等离子提取反应器可将气相废物从废气流中除去，该等离子反应器由一对平行间隔布置的电极构成。这些电极是在一定条件、通常在射频条件下被激励而引起废气辉光放电，被激活的物质直接沉积在电极表面上。只要具备电极面积对反应器容积及废气体积流量的很高的比率，基本上可完全除掉废物。系统特别适用于分离半导体生产过程中释放出的污染物质，生产过程包括如化学蒸汽沉淀及等离子侵蚀。气体提取方法及装置的最大优点在于将气相的废物转变为能直接沉积在电极上的固相物质，而电极然后可予以处理。
基本信息
专利标题 ：
从气体中提取气化物的装置及其方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1030192A
申请号 ：
CN88103302.2
公开（公告）日 ：
1989-01-11
申请日 ：
1988-05-31
授权号 ：
CN1021886C
授权日 ：
1993-08-25
发明人 ：
赵建中
申请人 ：
赵建中
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
上海专利事务所
代理人 ：
张恒康
优先权 ：
CN88103302.2
主分类号 ：
B01D53/32
IPC分类号 ：
B01D53/32 B01D53/34
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
B01D53/32
用与B01D61/00组的方法不同的电效应
法律状态
2005-08-03 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
2002-04-24 ：
其他有关事项
1993-08-25 ：
授权
1990-09-19 ：
实质审查请求
1989-01-11 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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