按图案制造氧化物超导材料薄膜的方法
视为撤回的专利申请
摘要
一种按图案制造氧化物超导材料薄膜的方法，按此法，运用反应离子和氧化铝或氧化硅掩模，借助于蚀刻的方法制作图案，所说的方法使高精度制作具有线宽小于2μm的图案成为可能，而不采用使超导特性退化的方法，影响超导薄膜的结构。
基本信息
专利标题 ：
按图案制造氧化物超导材料薄膜的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1034636A
申请号 ：
CN88109216.9
公开（公告）日 ：
1989-08-09
申请日 ：
1988-12-13
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
玛丽扎·杰拉达·约瑟法·海曼
申请人 ：
菲利浦光灯制造公司
申请人地址 ：
荷兰艾恩德霍芬
代理机构 ：
中国专利代理有限公司
代理人 ：
肖掬昌
优先权 ：
CN88109216.9
主分类号 ：
H01L39/24
IPC分类号 ：
H01L39/24 H01L21/302 H01B12/06
相关图片
法律状态
1992-02-19 ：
视为撤回的专利申请
1990-11-07 ：
实质审查请求
1989-08-09 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN1034636A.PDF
PDF下载
