乙醇、二氧化氮双敏薄膜气体传感器
授权
摘要
本发明是检测乙醇和二氧化氮双敏薄膜气体传感器。主要应用在汽车电子化、环境污染和气体分析等领域。采用等离子体增强化学气相淀积技术，制备Fe2O3-TiO2-SnO2复合薄膜敏感材料，其元件结构为旁热式，气体最低检出浓度为5ppm以下，它具有灵敏度高、响应快、恢复时间短和易进行大批批量生产等特点。
基本信息
专利标题 ：
乙醇、二氧化氮双敏薄膜气体传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1041453A
申请号 ：
CN89106243.2
公开（公告）日 ：
1990-04-18
申请日 ：
1989-07-29
授权号 ：
CN1012016B
授权日 ：
1991-03-13
发明人 ：
戴国瑞陈百华李桂荣
申请人 ：
吉林大学
申请人地址 ：
吉林省长春市解放大路83号
代理机构 ：
吉林大学专利事务所
代理人 ：
刘喜生
优先权 ：
CN89106243.2
主分类号 ：
G01N27/04
IPC分类号 ：
G01N27/04
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/00
用电、电化学或磁的方法测试或分析材料
G01N27/02
通过测试阻抗
G01N27/04
通过测试电阻
法律状态
1992-07-01 ：
授权
1991-03-13 ：
审定
1990-04-18 ：
公开
1990-01-10 ：
实质审查请求
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
