二氧化氮(NO2)薄膜气体传感器
专利权的终止未缴纳年费专利权终止
摘要
本实用新型是属于二氧化氮(NO2)薄膜气体传感器。它是快速检测NO2气体的一种电子元件。采用PECVD方法制备了SnO2-Fe2O3复合薄膜敏感材料，元件结构为旁热式，气体的最低检出限为5ppm以下。NO2浓度为300ppm时。元件灵敏度为5～50。响应时间小于1秒。恢复时间小于2秒，易进行大批量生产，为气体传感器向小型化、多功能化和集成化发展提供可能性。
基本信息
专利标题 ：
二氧化氮(NO2)薄膜气体传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN89213564.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
1989-07-01
授权号 ：
CN2064059U
授权日 ：
1990-10-17
发明人 ：
戴国瑞陈百华李桂荣刘义
申请人 ：
吉林大学
申请人地址 ：
吉林省长春市解放大路83号
代理机构 ：
吉林大学专利事务所
代理人 ：
刘喜生
优先权 ：
CN89213564.6
主分类号 ：
G01N27/28
IPC分类号 ：
G01N27/28
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/18
••••由于被试环境物质的热传导变化引起的电阻
G01N27/26
通过测试电化学变量；用电解或电泳法
G01N27/28
电解池部件
法律状态
1992-10-28 ：
专利权的终止未缴纳年费专利权终止
1991-06-19 ：
授权
1990-10-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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