内光路偏心光束自动调焦仪
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
一种内光路偏心光束自动调焦仪，采用内光路偏心光来作为检测光源，用二象限硅光电池来接收离焦信号，其光电检测头安装在显微镜本体的构件上。可用于显微电测量仪，线宽轮廓测量仪，光盘等的自动调焦。本自动调焦仪调焦范围大，可达1000μm，调焦精度高，≤±0.1μm。
基本信息
专利标题 ：
内光路偏心光束自动调焦仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN89213612.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
1989-07-08
授权号 ：
CN2051359U
授权日 ：
1990-01-17
发明人 ：
薛实福李庆祥汪春庆许先海
申请人 ：
清华大学
申请人地址 ：
北京市海淀清华园100084
代理机构 ：
清华大学专利事务所
代理人 ：
章瑞溥
优先权 ：
CN89213612.X
主分类号 ：
G02B7/28
IPC分类号 ：
G02B7/28
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B7/00
光学元件的安装、调整装置或不漏光连接
G02B7/28
聚焦信号的自动发生系统
法律状态
1993-08-25 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1990-08-22 ：
授权
1990-01-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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