高分辨率激光衍射测量仪
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本发明是关于激光衍射精密尺寸的测量仪器。在这种仪器的远场衍射光路中，安装了光学空间滤波器，远场衍射光通过滤波器后被送入激光信号分析仪，分析仪中包括低噪声微分、非线性补偿和计数译码等电路。由于仪器中应用了这些部件，使仪器的绝对分辨率达到了0.0018微米，可对被测工件按尺寸顺序自动分类，并给出相应的分类信号，此外仪器的测量精度不受激光功率波动等干扰的影响，可解决生产线上精密工件的测量和分选。
基本信息
专利标题 ：
高分辨率激光衍射测量仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1048263A
申请号 ：
CN90103592.0
公开（公告）日 ：
1991-01-02
申请日 ：
1990-05-22
授权号 ：
CN1016095B
授权日 ：
1992-04-01
发明人 ：
李明张学山
申请人 ：
天津港湾工程研究所
申请人地址 ：
300222天津市河西区大沽南路1474号
代理机构 ：
交通部专利服务中心
代理人 ：
刘静香
优先权 ：
CN90103592.0
主分类号 ：
G01B11/02
IPC分类号 ：
G01B11/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
1995-07-19 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1992-11-18 ：
授权
1992-04-01 ：
审定
1991-01-02 ：
公开
1990-12-19 ：
实质审查请求
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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