弧源-多离子束材料表面改性技术
专利申请的视为撤回
摘要
弧源-多离子束材料表面改性技术是在具有离子束注入源、离子束溅射源、弧源及工件负高压电源等装置中实现的。处理工件表面改性层有较宽过渡层，附着性好，沉积速率高；在工件表面可形成单层或多层氮化物、碳化物、氮-碳化物等改性层；一机可以完成离子镀、离子束混合、离子注入。可用于各类刀具、模具、轴承、牙轮钻、手表、灯具等零件；本技术无公害，有广泛应用前景。
基本信息
专利标题 ：
弧源-多离子束材料表面改性技术
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1074715A
申请号 ：
CN92100416.8
公开（公告）日 ：
1993-07-28
申请日 ：
1992-01-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
陈宝清
申请人 ：
大连理工大学
申请人地址 ：
116024辽宁省大连市凌水河
代理机构 ：
大连理工大学专利事务所
代理人 ：
侯明远
优先权 ：
CN92100416.8
主分类号 ：
C23C14/22
IPC分类号 ：
C23C14/22 H01J37/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
法律状态
1995-07-19 ：
专利申请的视为撤回
1993-07-28 ：
公开
1992-11-04 ：
实质审查请求已生效的专利申请
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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