控制颗粒流化床中基材上的沉积过程的方法和装置
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
对于涂覆在颗粒流化床中的工件上的热分解碳进行精确的控制是藉检测床层上方和床层下部或恰在床层下方的压力之差来实现的。已发现这一压力差的测量能真正代表这种涂覆器内床层的大小,并且床层大小是使涂覆物质具有所需特性的非常重要的因素。对应于所测压力差的变化对床层尺寸进行调节,可以容易地使床层尺寸基本上恒定不变;或者可以令压力差按照预先编制的程序逐步变化。在这两种情况下都是通过加入颗粒到床层或改变颗粒排出的速率来进行调节的,因此可获致精确的涂层特性,例如可使厚度具有很小的公差。
基本信息
专利标题 :
控制颗粒流化床中基材上的沉积过程的方法和装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1080667A
申请号 :
CN92105230.8
公开(公告)日 :
1994-01-12
申请日 :
1992-06-30
授权号 :
CN1044336C
授权日 :
1999-07-28
发明人 :
J·A·阿肯蒂额斯D·S·怀尔德
申请人 :
碳素种植股份有限公司
申请人地址 :
美国得克萨斯州
代理机构 :
上海专利商标事务所
代理人 :
林蕴和
优先权 :
CN92105230.8
主分类号 :
B01J8/24
IPC分类号 :
B01J8/24 B05C19/02 C23C16/44
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01J
化学或物理方法,例如,催化作用或胶体化学;其有关设备
B01J8/00
在有流体和固体颗粒的情况下所进行的一般化学或物理的方法;这些方法所用的装置
B01J8/18
有流态化颗粒
B01J8/24
根据“流化床”技术
法律状态
2004-09-01 :
专利权的终止未缴年费专利权终止
2002-06-12 :
其他有关事项
1999-07-28 :
授权
1995-08-09 :
实质审查请求的生效
1994-01-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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