双频激光准直测量方法及其准直测量干涉仪
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本发明提出一种新的双频激光准直测量方法,属于双频激光精密测量技术领域。其特点在于将双频激光束射入第一个双折射分光元件分成夹有一小角度的两束光,再经过第二个双折射分光元件变成平行光速,经反射体反射按原路返回,由光电接收器接收,做为测量信号,相位计将双频激光参考信号与测量信号进行比相,得到位移量。本发明有利于克服空气干扰的影响,不但能进行连续测量,也能进行断续测量,在实际工程的精密测量中有广泛的应用前景。
基本信息
专利标题 :
双频激光准直测量方法及其准直测量干涉仪
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1071005A
申请号 :
CN92110543.6
公开(公告)日 :
1993-04-14
申请日 :
1992-09-17
授权号 :
CN1036292C
授权日 :
1997-10-29
发明人 :
殷纯永郭继华钱忠谢广平王泽民马贵龙
申请人 :
清华大学
申请人地址 :
100084北京市海淀区清华园
代理机构 :
清华大学专利事务所
代理人 :
廖元秋
优先权 :
CN92110543.6
主分类号 :
G01B11/27
IPC分类号 :
G01B11/27
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/27
••用于检测轴线准直
法律状态
2001-11-14 :
专利权的终止未缴年费专利权终止
1997-10-29 :
授权
1993-04-14 :
公开
1993-03-24 :
实质审查请求的生效
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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