制备类金刚石复合振膜的方法
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本发明涉及一种制备沉积有类金刚石膜层的复合声学振膜的方法。其特征在于将被沉积金属基体置于环形夹具中，并在真空室中作为负放电电极。运用含碳气体的直流辉光放电法进行类金刚石膜的沉积，它可在平板形，球冠形或其它复杂形状的多种基体材料表面进行单面或两面同时沉积出类金刚石膜形成复合振膜。因此，它可以平衡应力，提高复合膜的整体刚性，消除应力变形，提高沉积效率，改善了声器件的频响曲线。
基本信息
专利标题 ：
制备类金刚石复合振膜的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1093213A
申请号 ：
CN93103925.8
公开（公告）日 ：
1994-10-05
申请日 ：
1993-04-01
授权号 ：
CN1031740C
授权日 ：
1996-05-01
发明人 ：
张保军孙滨如
申请人 ：
中国建筑材料科学研究院
申请人地址 ：
100024北京市朝阳区管庄
代理机构 ：
中科专利代理有限责任公司
代理人 ：
刘文意
优先权 ：
CN93103925.8
主分类号 ：
H04R31/00
IPC分类号 ：
H04R31/00 C23C14/22
法律状态
1998-05-27 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1996-05-01 ：
授权
1994-10-05 ：
公开
1993-09-29 ：
实质审查请求的生效
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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