金刚石自支撑膜的制备方法和金刚石自支撑膜
实质审查的生效
摘要
本发明涉及金刚石技术领域，具体公开一种金刚石自支撑膜的制备方法和金刚石自支撑膜，其中金刚石自支撑膜的制备方法包括：在基材上生长保护层，使所述保护层至少生长于所述基材的周向侧面；对所述基材的上表面和下表面中的至少一者进行预处理，使所述上表面和/或所述下表面形成金刚石晶核；在具有所述金刚石晶核的表面生长金刚石自支撑膜；将所述金刚石自支撑膜与所述基材和所述保护层剥离。采用本发明的制备方法得到的金刚石自支撑膜具有尺寸大、面密度均匀、晶粒尺寸均匀、晶体形貌完整的特点。
基本信息
专利标题 ：
金刚石自支撑膜的制备方法和金刚石自支撑膜
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114318287A
申请号 ：
CN202111592333.4
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-12-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
何斌黄江涛陈文婷韩培刚马莞杰龙宇豪李兴宇张宗雁
申请人 ：
深圳技术大学
申请人地址 ：
广东省深圳市坪山区石井街道兰田路3002号
代理机构 ：
深圳市力道知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张传义
优先权 ：
CN202111592333.4
主分类号 ：
C23C16/02
IPC分类号 ：
C23C16/02 C23C16/27 C23C16/01 C23C16/50 C23C14/06 C23C14/35 C23C14/16
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/02
待镀材料的预处理
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 16/02
申请日 : 20211223
申请日 : 20211223
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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