一种单晶金刚石及制备方法
实质审查的生效
摘要

本发明涉及一种单晶金刚石及制备方法,其制备方法包括步骤:S1、在衬底上制备金刚石成核层;S2、在金刚石成核层上外延生长晶面取向均一、且表面凹凸不平的多晶金刚石层;S3、在多晶金刚石层的凹凸不平的表面上外延生长金属铱;S4、对金属铱进行表面抛光处理,以露出多晶金刚石层与金属铱交错分布的平面,形成复合衬底;S5、在复合衬底上生长单晶金刚石。该制备方法在晶面取向均一的多晶金刚石表面即可形核,避免传统单晶金刚石异质外延过程中形核阶段对衬底直流偏压的需要,且所形成的单晶金刚石晶体取向均一,质量较高,从而实现了与现有设备的兼容,降低了工艺复杂度,提高了成品率。

基本信息
专利标题 :
一种单晶金刚石及制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114525582A
申请号 :
CN202210011087.7
公开(公告)日 :
2022-05-24
申请日 :
2022-01-05
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
任泽阳丁森川张金风苏凯马源辰李俊鹏张进成郝跃
申请人 :
西安电子科技大学;西安电子科技大学芜湖研究院
申请人地址 :
陕西省西安市雁塔区太白南路2号
代理机构 :
西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
王海栋
优先权 :
CN202210011087.7
主分类号 :
C30B29/04
IPC分类号 :
C30B29/04  C30B25/18  C30B25/20  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/02
元素
C30B29/04
金刚石
法律状态
2022-06-10 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C30B 29/04
申请日 : 20220105
2022-05-24 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332