马赛克拼接沉积制备金刚石单晶的装置
授权
摘要
一种马赛克拼接沉积制备金刚石单晶的装置,包括基片、外环、压缩弹簧和固定块;外环连接在基片上,外环中设置有贯穿的测温孔,基片上在外环内分布有固定块和压缩弹簧,基片上在外环内分布有固定块和压缩弹簧,压缩弹簧处于固定块与外环内壁之间。通过压缩弹簧将各单晶衬底片挤压在各个固定块之间,处于外环的中心位置。本实用新型通过压缩弹簧同时均匀的向内挤压单晶衬底片,使衬底片之间接触更加紧密,使衬底片更好的接触基片,排除了异物干扰,保证了衬底片的高度统一,同时也避免了对单晶衬底片的污染,消除了拼接缝出现边缘多晶的现象,明显改善了晶体质量。
基本信息
专利标题 :
马赛克拼接沉积制备金刚石单晶的装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122840832.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-11-18
授权号 :
CN216237372U
授权日 :
2022-04-08
发明人 :
曹振忠王希玮徐昌王笃福王盛林刘长江
申请人 :
济南金刚石科技有限公司
申请人地址 :
山东省济南市高新技术产业开发区飞跃大道2016号ICT产业园内
代理机构 :
济南日新专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
王书刚
优先权 :
CN202122840832.2
主分类号 :
C30B29/04
IPC分类号 :
C30B29/04 C30B25/20
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/02
元素
C30B29/04
金刚石
法律状态
2022-04-08 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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