一种用于气相沉积法合成单晶金刚石的衬底
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于气相沉积法合成单晶金刚石的衬底，属于金刚石合成装置技术领域。包括有衬底主体，所述衬底主体的底部设置有一层不透明的用于稳定衬底红外放射率的覆盖层。本实用新型的优势在于，相比于现有技术：首先，本实用新型的衬底主体上设置有一层不透明的覆盖层，能够使衬底的红外放射率较快地趋于稳定，提高了测温的准确性；其次，衬底底部的覆盖层，在金刚石合沉积过程中，能够增加衬底与基台之间的热传导，提高衬底与基台之间的热传导效率；最后，本实用新型结构简单、生产成本低，便于推广和使用。
基本信息
专利标题 ：
一种用于气相沉积法合成单晶金刚石的衬底
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122651457.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-01
授权号 ：
CN216427485U
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
廖佳
申请人 ：
北京左文科技有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区北京经济技术开发区文化园西路8号院4号楼4层502
代理机构 ：
深圳市神州联合知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王志强
优先权 ：
CN202122651457.7
主分类号 ：
C30B25/18
IPC分类号 ：
C30B25/18 C30B29/04
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B25/00
反应气体化学反应法的单晶生长，例如化学气相沉积生长
C30B25/02
外延层生长
C30B25/18
以衬底为特征的
法律状态
2022-05-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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