一种柔性金刚石薄膜制备的工艺方法
公开
摘要
本发明公开了一种柔性金刚石薄膜制备的工艺方法，所述工艺方法包括如下步骤：基板制备、过渡层制备、柔性薄膜制备、金刚石薄膜制备和金刚石薄膜处理。该方法的有益效果是：该种工艺方法适用于柔性金刚石薄膜的制备，将金刚石薄膜通过化学气相沉积法沉积在柔性薄膜表面，能够制得具有一定柔性的金刚石薄膜，同时能够保证金刚石薄膜与柔性金属薄膜的有效吻合，提高薄膜的使用寿命，且能够进行柔性金属薄膜两面进行沉积金刚石薄膜，有利于提高金刚石薄膜的使用性能，使柔性金刚石薄膜适用于特殊场所使用，提高金刚石薄膜的适用范围，通过对金刚石薄膜和柔性金属薄膜表面进行抛光处理，能够保证金刚石薄膜的有效附着，提高沉积效果以提高使用性能。
基本信息
专利标题 ：
一种柔性金刚石薄膜制备的工艺方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114606475A
申请号 ：
CN202210246700.3
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2022-03-14
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
魏利
申请人 ：
苏州科国智新材料科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴江区盛泽镇西二环路1188号中国盛泽纺织科技创业园10号楼202室
代理机构 ：
盐城海纳川知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
丁绘燕
优先权 ：
CN202210246700.3
主分类号 ：
C23C16/27
IPC分类号 ：
C23C16/27 C23C16/01 C23C16/02
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/22
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C16/26
仅沉积碳
C23C16/27
仅沉积金刚石
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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