一种金刚石薄膜的制备机构
授权
摘要
本实用新型涉及金刚石制备技术领域，特别地，涉及一种金刚石薄膜的制备机构，包括气源罐和气相沉积炉，还包括一个预热系统；所述预热系统包括两端封闭的隔热套筒、固定穿设在隔热套筒内且两端伸出隔热套筒外的导热管，以及与导热管两端连接用以循环向导热管内注入热媒的热媒供给组件；所述导热管位于隔热套筒内的管段与隔热套筒内壁之间间隔设置形成供气流通过的流道；所述隔热套筒一端侧壁上开设有与气源罐连接的进气口，另一端侧壁上开设有与气相沉积炉进气端连接的出气口。本实用新型可以在气源罐的气体进入气相沉积炉之前对气体进行预热，如此以保证气体在进入气相沉积炉时本身具备较高的温度，提高后续气相沉积炉的制备效率。
基本信息
专利标题 ：
一种金刚石薄膜的制备机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020603591.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-21
授权号 ：
CN212270231U
授权日 ：
2021-01-01
发明人 ：
余斌余海粟朱轶方陆骁莹
申请人 ：
杭州超然金刚石有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市萧山区经济技术开发区鸿兴路158号2号楼2-117
代理机构 ：
杭州信义达专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
陈继算
优先权 ：
CN202020603591.2
主分类号 ：
C23C16/27
IPC分类号 ：
C23C16/27 C23C16/44
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/22
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C16/26
仅沉积碳
C23C16/27
仅沉积金刚石
法律状态
2021-01-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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