本申请公开了一种类金刚石薄膜的制备方法，所述类金刚石薄膜的制备方法包括如下步骤：衬底制备，将硅衬底表面利用除垢剂和酒精擦拭，减少硅衬底表面的脏污；置入样品，将处理后的样品和衬底放置在固定架上固定；试剂配制；试剂检验，取出制备容器内部的试剂进行检验，对试剂内部的各离子含量进行检测，对不合格的试剂进行调配；电压辅助；薄膜制备。对台区损耗特征的分析，筛选出主要电参数和非电器特征参数；对衬底和样品进行预处理，减少制备时的干扰，提高制备效果；固定架上可稳定放置衬底和样品，保持衬底和样品的连接，试剂浸没样品，保持制备正常进行；试剂配制时经过检验和调节，保证内部的离子含量，可加速类金刚石薄膜的形成。