一种类金刚石厚膜及其制备方法
实质审查的生效
摘要

本发明涉及表面工程技术领域,特别是涉及一种类金刚石厚膜的制备方法。该类金刚石厚膜的制备方法首先采用超声波清洗、气体离子束清洗去除基体表面污染物及氧化层,然后利用等离子体辅助磁控溅射沉积方式在基体上沉积过渡层,再利用超快激光在过渡层上刻蚀微结构,最后利用超快激光阴极弧沉积方式在微结构上沉积DLC膜层,从而实现高质量、性能优异、大厚度DLC耐磨润滑涂层的高效制备。

基本信息
专利标题 :
一种类金刚石厚膜及其制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114481027A
申请号 :
CN202210111435.8
公开(公告)日 :
2022-05-13
申请日 :
2022-01-29
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
马国佳刘星孙刚余庆陶马贺武壮壮
申请人 :
中国航空制造技术研究院
申请人地址 :
北京市朝阳区八里桥北东军庄1号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202210111435.8
主分类号 :
C23C14/06
IPC分类号 :
C23C14/06  C23C14/02  C23C14/32  C23C14/35  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/06
以镀层材料为特征的
法律状态
2022-05-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/06
申请日 : 20220129
2022-05-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332