一种类金刚石厚膜及其制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明涉及表面工程技术领域，特别是涉及一种类金刚石厚膜的制备方法。该类金刚石厚膜的制备方法首先采用超声波清洗、气体离子束清洗去除基体表面污染物及氧化层，然后利用等离子体辅助磁控溅射沉积方式在基体上沉积过渡层，再利用超快激光在过渡层上刻蚀微结构，最后利用超快激光阴极弧沉积方式在微结构上沉积DLC膜层，从而实现高质量、性能优异、大厚度DLC耐磨润滑涂层的高效制备。
基本信息
专利标题 ：
一种类金刚石厚膜及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114481027A
申请号 ：
CN202210111435.8
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2022-01-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
马国佳刘星孙刚余庆陶马贺武壮壮
申请人 ：
中国航空制造技术研究院
申请人地址 ：
北京市朝阳区八里桥北东军庄1号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202210111435.8
主分类号 ：
C23C14/06
IPC分类号 ：
C23C14/06 C23C14/02 C23C14/32 C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/06
以镀层材料为特征的
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/06
申请日 : 20220129
申请日 : 20220129
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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