一种金刚石薄膜的制备装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种金刚石薄膜的制备装置，属于气相沉积技术领域。该制备装置包括反应室、水冷管道和加热器；所述水冷管道安装于反应室的外壁内侧；所述加热器包括外壳和容纳槽；所述容纳槽容置于外壳内腔中；容纳槽与外壳围设出空腔；所述外壳连通有进水管和出水管；所述进水管与所述水冷管道连通。该制备装置利用携带热量的冷却剂加热制备金刚石过程中需要加热原料的原料罐，能够充分利用能源，降低能耗。
基本信息
专利标题 ：
一种金刚石薄膜的制备装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921902187.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-06
授权号 ：
CN211005714U
授权日 ：
2020-07-14
发明人 ：
托马斯·斌·余余海粟朱轶方陆骁莹
申请人 ：
杭州超然金刚石有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市萧山区经济技术开发区鸿兴路158号2号楼2-117
代理机构 ：
杭州信义达专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
陈继算
优先权 ：
CN201921902187.9
主分类号 ：
C30B29/04
IPC分类号 ：
C30B29/04 C30B25/10
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/02
元素
C30B29/04
金刚石
法律状态
2020-07-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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