一种超纳米金刚石薄膜的制备装置
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摘要
本实用新型提供一种超纳米金刚石薄膜的制备装置，包括：由下而上的底座、衬底及加热层，加热层用于加热使衬底的温度维持在预设温度；石英钟罩，用于与底座形成密封体；蓄能器件，设置在石英钟罩与底座构成的密封体内，用于储存电能，包括阴极和阳极；中心电极，连接蓄能器件的阳极；外部电极，连接蓄能器件的阴极；螺旋丝杆，连接中心电极，使中心电极可朝向外部电极移动，当二者之间的距离达到第一预设距离，使外部电极发射出预设能量的碳等离子体，在预设温度的衬底上形成超纳米金刚石薄膜。本方案提供的装置，可提供不引入外界杂质的预设压强的环境以沉积出超纳米金刚石薄膜，具有较高的沉积效率，且沉积出的超纳米金刚石薄膜的纯净度较高。
基本信息
专利标题 ：
一种超纳米金刚石薄膜的制备装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921706696.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-12
授权号 ：
CN210736872U
授权日 ：
2020-06-12
发明人 ：
吕家将吴炳理彭凡林蒋晓刚王文超
申请人 ：
九江职业技术学院
申请人地址 ：
江西省九江市濂溪区十里大道1188号
代理机构 ：
郑州科硕专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
范增哲
优先权 ：
CN201921706696.4
主分类号 ：
C23C14/06
IPC分类号 ：
C23C14/06 C23C14/32
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/06
以镀层材料为特征的
法律状态
2020-06-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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