带有防潮阻反膜的氯化钾窗口和透镜材料及其制备方法
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本发明提供了一种带有防潮阻反膜的氯化钾窗口和透镜材料及其制备方法，第一层为氟化钠膜，厚度为1.7～2.25μm，第二层为磁控溅射类金刚石碳膜，厚度为500～1000A，其中氟化钢膜用电子束蒸镀工艺进行沉积，背底真空度为1～2×10-3Pa，功率为50～120W，选用高纯NaF晶体作蒸发材料，所用蒸发舟材料为金属Mo，基片温度70～150℃。本发明的优点在于在10.6μm反射率小，吸收率低，抗连续CO2激光损伤阈值高，而且具有抗潮解的能力。
基本信息
专利标题 ：
带有防潮阻反膜的氯化钾窗口和透镜材料及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1094758A
申请号 ：
CN93104872.9
公开（公告）日 ：
1994-11-09
申请日 ：
1993-04-29
授权号 ：
CN1033921C
授权日 ：
1997-01-29
发明人 ：
吕反修程德刚叶锐曾孙庆标于文秀杨让
申请人 ：
北京科技大学
申请人地址 ：
100083北京市海淀区学院路30号
代理机构 ：
北京科技大学专利代理事务所
代理人 ：
刘月娥
优先权 ：
CN93104872.9
主分类号 ：
C23C14/06
IPC分类号 ：
C23C14/06 C23C14/30 C23C14/35 H01S3/034 G02B3/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/06
以镀层材料为特征的
法律状态
2000-06-28 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1997-01-29 ：
授权
1995-05-03 ：
实质审查请求的生效
1994-11-09 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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