激光窗口材料氯化钾晶体类金刚石防潮保护膜
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本发明提供了一种强激光窗口材料KCL晶体类金刚石防潮保护碳膜的制造方法，即采用高纯石墨靶在高纯氢气气氛中的直流溅控溅射方法制备类金刚石碳膜。其溅射功率为100-1200瓦，氩压为5-13Pa。并在溅射前“洗靶”。类金刚石碳膜沉积速率为5-60A/min，与KCL晶体有良好的附着力。适合于千瓦级以上工业和军事高功率CO2激光KCL窗口和透镜的防潮保护膜。也适合于一般中小功率红外光学器件及其它各种红外光学材料。
基本信息
专利标题 ：
激光窗口材料氯化钾晶体类金刚石防潮保护膜
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1066332A
申请号 ：
CN91102583.9
公开（公告）日 ：
1992-11-18
申请日 ：
1991-04-28
授权号 ：
CN1024481C
授权日 ：
1994-05-11
发明人 ：
吕反修杨保雄叶锐曾程德刚于文秀孙金标
申请人 ：
北京科技大学
申请人地址 ：
100083北京市学院路30号
代理机构 ：
北京科技大学专利代理事务所
代理人 ：
刘月娥
优先权 ：
CN91102583.9
主分类号 ：
G02B1/02
IPC分类号 ：
G02B1/02 G02B1/10 C23C14/06 C23C14/34
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B1/00
按制造材料区分的光学元件；用于光学元件的光学涂层
G02B1/02
由晶体半导体，制成的
法律状态
1997-06-18 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1994-05-11 ：
授权
1992-11-18 ：
公开
1992-09-16 ：
实质审查请求已生效的专利申请
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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